馳誠(chéng)真空光學(xué)（電子槍?zhuān)╁兡C(jī)通過(guò)電子源（電子槍?zhuān)┊a(chǎn)生的高能電子束并在磁場(chǎng)的作用下轟擊坩堝中的鍍膜材料，通過(guò)動(dòng)能對(duì)熱能的轉(zhuǎn)換產(chǎn)生高溫使得材料溶化并蒸發(fā)以獲得優(yōu)秀附著力和光學(xué)性能的膜層。
設(shè)計(jì)裝載超大坩堝電子槍?zhuān)麄€(gè)蒸發(fā)過(guò)程中膜料表面平整，蒸發(fā)分布均勻。
悉心選用INFICON石英晶振膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)成膜速度和鍍膜過(guò)程的自動(dòng)化控制。
設(shè)計(jì)多功能工件轉(zhuǎn)動(dòng)方式，可搭載多套穹頂式光學(xué)鍍膜傘或行星式轉(zhuǎn)架。
采用馳誠(chéng)工藝制造，精益求精，通過(guò)歐盟CE和ISO質(zhì)量管理體系認(rèn)證；
CCZK-OGS光學(xué)電子槍鍍膜設(shè)備
腔體結(jié)構(gòu)： 立式前開(kāi)門(mén)，臥式前開(kāi)門(mén)，后置真空獲得系統(tǒng)
材質(zhì)用料：腔體均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼鍛造
制膜種類(lèi)：光學(xué)多層膜，光學(xué)增透膜、減反射膜（AR）、單點(diǎn)增透、截止濾光片、七彩裝飾功能膜等
轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)： 變頻調(diào)速，配備光學(xué)鍍膜傘和行星式工件轉(zhuǎn)架
電子束蒸發(fā)器： 配備大功率E型電子槍
輔助鍍膜： 可配備霍爾離子源或 高壓離子轟擊電源以提高附著力、膜層密度、穩(wěn)定折射率
加熱系統(tǒng)：鎧裝加熱管加熱方式，350℃溫控PID控制。
真空系統(tǒng)：擴(kuò)散泵（可選分子泵）+羅茨泵+機(jī)械泵+維持泵+深冷系統(tǒng)（可選）
氣體控制： 采用多路氣體流量控制儀
膜層監(jiān)測(cè)： 配置采用美國(guó)INFICON產(chǎn)石英晶振膜厚儀，可實(shí)現(xiàn)膜層參數(shù)的儲(chǔ)存與自動(dòng)調(diào)用
智能控制： PLC智能控制+HMI全彩人機(jī)觸控界面，實(shí)現(xiàn)邏輯全自動(dòng)控制
報(bào)警及保護(hù)：異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施。
其他技術(shù)參數(shù)：
極限真空： 5.0×10-4Pa
抽氣速率： 5.0*10-2≤5min
水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa；
備注：
一般規(guī)格： Φ1350*H1350，Φ1600mm*H1500mm,Φ2050mm*H1500mm，
真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶(hù)產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做
光學(xué)鏡頭，光學(xué)鏡片（玻璃、PC等），高級(jí)AB彩亞克力，手機(jī)鋼化玻璃視窗，黃金管（石英紅外加熱管），濾光片，可鍍膜增透膜等各種膜層。
浙公網(wǎng)安備33030302000888號(hào)